惠然微电子与华润微电子签署合作协议联合推进半导体量检测设备研发

麦站管理员 50 2026-09-02 11:50:05

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<article><section data-type="rtext"><p>9月1日下午，“芯链协同 共创未来”滨湖区集成电路产业对接会在无锡举行。对接会上，惠然微电子技术（无锡）有限公司与华润微电子有限公司签署战略合作框架协议，双方围绕半导体设备国产化，联合推动量检测设备的自主研发与产业化应用，并建立技术交流机制和人才培养机制，协同产业链上下游***整合。</p><p><i class="pic-con"></p><p>中国科学院微电子研究所光电技术中心副主任吴晓斌、浙江省半导体行业协会秘书长丁勇，集成电路产业链企业代表、高校科研院所代表、投资机构代表，滨湖区相关负责人出席活动。</p><p><i class="pic-con"></p><p>深耕自研，“芯”品迭出。一批由惠然微电子自主研发并达到国内领先水平对接会现场，惠然微电子发布三款自主研发产品。14/22nm CD-SEM关键尺寸量测设备向下兼容22nm量产、向上支撑14nm工艺研发，可应用于研发与量产两类场景；Mask CD-SEM掩模版量测装备面向22nm及以上节点光刻掩模版关键尺寸计量需求；AI-电子束量测技术平台RMS作为CD-SEM智能体产线解决方案，覆盖硬件与算法数据处理环节。</p><p>华润微电子董事长何小龙在交流中表示，高端量检测正从实验室进入量产线，需要国内客户的参与，保障晶圆制造的供应链体系安全。惠然微电子董事长王志刚以《埃米时代的量测革命：CD-SEM技术演进、产业趋势与国产电子束装备突围》为题，介绍国产电子束装备的技术路径与产业进展。产业交流环节，长电科技、华虹半导体等企业，鲸芯资本、锡高投等投资机构，中科院微电子所光电中心等科研院所参与讨论。</p><p><i class="pic-con"></p><p>滨湖区集成电路产业已有30余年发展历史，形成了企业集中、配套完善的产业体系。区域内汇聚江南大学、东南大学、中电科五十八所等高校院所，落地国家集成电路设计中心、清华无锡智能产业创新中心等科创平台，建设申威信创、锡芯谷等产业园区，集聚中科芯、卓胜微、惠然微电子、利普思等企业。据了解，2026年上半年，滨湖区集成电路产业实现营收超70亿元。（心月）</p></section><img src='/image/159661-0' alt='惠然微电子与华润微电子签署合作协议 联合推进半导体量检测设备研发'>                            </div>

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